福州电销防封号卡

admin 电销卡 2022-05-23 15:29 358

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中国科学技术大学微电子学院教授左成杰研究福州电销防封号卡团队在铌酸锂(LiNbO3)压电薄膜上设计并实现了Q值超过100000的高频(6.5GHz)微机电系统(MEMS)谐振器,福州电销防封号卡与文献中现有工作相比,把Q值提升了2个数量福州电销防封号卡。福州电销防封号卡相关成果在线发表于电子器件领域期刊IEEE Electron Device Letters。

新型MEMS谐振器结构设计及性能测试:(a)三维欧拉角的定义;福州电销防封号卡(b)制备的谐振器SEM照片;(c)15°谐振器导纳曲线测试结果,图片来自中科大

前述团队提出了一种基于三维欧拉角α在x-cut单晶铌酸锂压电薄膜福州电销防封号卡上设计并制备高频MEMS谐振器的方法。通过设计谐振器的电极结构,福州电销防封号卡工作于6.5GHz的S1振动模态被激发,并且当声波传播方向(α)位于15°时,福州电销防封号卡谐振器并联谐振频率(fp)处的品质因数(Qp)高达131540,对应的谐振器优值(k^2)·Qp和fp·Qp分别达到6300和8.6×(10^14)Hz(赫兹)。

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